Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence

Bakalářská práce

Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence: Příklad měřeného povrchu (křemíkový wafer s vyleptanými strukturami).Moje bakalářská práce na téma Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence vznikla v akademickém roce 2013/2014 na Ústavu přístrojové techniky AV ČR pod vedením Ing. Zdeňka Buchty, Ph.D., a byla úspěšně obhájena na Ústavu fyzikálního inženýrství FSI VUT.

Abstrakt

Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence: Interference bílého světla v Michelsonově interferometru, kde v jedné větvi byl křemíkový wafer s vyleptanými strukturami.Práce se zabývá interferometrií nízké koherence, zejména jejím využitím v kombinaci s laserovou interferometrií pro optickou analýzu profilu povrchů. Uvádí principy laserové interferometrie se zaměřením na přesné měření délek a také principy interferometrie nízké koherence. Detailně popisuje metody detekce středu interferenčního proužku v interferometrii nízké koherence a jejich implementaci do prostředí MATLAB. Na základě měření a numerické simulace srovnává přesnost popsaných metod při detekci profilu povrchů, odolnost vůči disperzi a výpočetní náročnost a vybírá nejvhodnější metodu pro použití při analýze profilu povrchů.Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence: Model interferenčního proužku při použití bílé LED. Popisuje také návrh a realizaci experimentální sestavy pro optické měření profilu povrchů kombinující možnosti laserové interferometrie a interferometrie nízké koherence, měření provedená na této sestavě a zpracování naměřených dat. Pro naměřené hodnoty jsou stanoveny nejistoty a hodnoty jsou srovnány s referenčním měřením.

Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence: Experimentální sestava pro měření profilu povrchů.

Publikace

PIKÁLEK, Tomáš, Tomáš FOŘT a Zdeněk BUCHTA. Detection techniques in low-coherence interferometry and their impact on overall measurement accuracyApplied Optics. 2014, vol. 53, no. 36, s. 8463–8470.

PIKÁLEK, Tomáš, Tomáš FOŘT a Zdeněk BUCHTA. Metody detekce středu interferenčního proužku v interferometrii nízké koherence. Jemná mechanika a optika. 2014, č. 8, s. 220–223.

Ke stažení

Text práceText práce

PrezentacePrezentace

Přílohy prácePřílohy práce
skripty pro MATLAB a ukázková data

Zdrojové soubory textu práceZdrojové soubory textu práce
pro XeLaTeX (potřebné styly přiloženy), gnuplot (grafy a některé obrázky), IPE (obrázky), OptoCad (schémata optických sestav).